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光敏聚酰亚胺合成方法及应用的最新进展
光敏聚酰亚胺合成方法及应用的最新进展
来源 :功能高分子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cdp850911
【摘 要】
:
从负性、正性和化学增幅三个方面阐述了光敏聚酰亚胺(PSPI)几十年来的研究和发展现状,并做了一定深度的讨论。
【作 者】
:
侯豪情
李悦生
丁孟贤
韩阶平
【机 构】
:
中国科学院长春应用化学研究所,中国科学院微电子中心
【出 处】
:
功能高分子学报
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
光敏树酯
聚酰亚胺
正性光刻胶
负性光刻胶
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从负性、正性和化学增幅三个方面阐述了光敏聚酰亚胺(PSPI)几十年来的研究和发展现状,并做了一定深度的讨论。
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