【摘 要】
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本文对直流等离子体喷射低压化学气相沉积金刚石薄膜设备中所需要的等离子体发生器进行了研究设计，其特点是喷口直径及功率较大，适合高速率沉积金刚石薄膜的要求。
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本文对直流等离子体喷射低压化学气相沉积金刚石薄膜设备中所需要的等离子体发生器进行了研究设计，其特点是喷口直径及功率较大，适合高速率沉积金刚石薄膜的要求。
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