共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kobe7751790

【摘要】

：

本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成.采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相

【作者】

：

杨崇峰曾葆青刘阳杨中海殷吉昊钱尚介

【机构】

：

北京真空电子技术研究所,电子科技大学高能电子学研究所,电子科技大学高能电子学研究所,核工业西南物理研究院

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

共面双栅极 FEAs 真空微电子学结构金刚石薄膜计算机模拟场发射阵列阴极 Electron beamsField emission cathodes

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国防科技重点实验室基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成.采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流-电压等特性,并与只有栅极时的情况进行对比,表明反射极对电子注有会聚作用,能形成层流性良好的电子注,该结构可应用于场发射平面显示器等真空微电子器件中.

其他文献

肾安冲剂治疗慢性肾功能衰竭30例疗效观察

目的:考察肾安冲剂对慢性肾功能衰竭的疗效.方法:采用随机分组对照观察法,治疗组30例采用肾安冲剂与常规西药治疗,对照组15例采用西药治疗,对症状、体征、血清肌酐(Scr)、尿

期刊

慢性肾功能衰竭中西医结合治疗肾安冲剂疗效观察CRFTherapy combining Chinese and west medicine SACJ

有开放约束磁场磁控溅射系统等离子体引出

在磁控溅射系统阴极靶施加同轴可调约束磁场显著改善了系统放电特性.研究了在Ar气放电系统伏安特性随不同的气压、溅射电压变化规律.采用同轴平面探针诊断距阴极60 mm、110 m

期刊

等离子体薄膜磁控溅射/非平衡ArgonCathodesMagnetic fieldsPlasmas

曝光台校正透镜修正效果的检测

检验曝光台校正透镜的修正效果,通常是通过在生产线上实际制管来进行.这种方法费时费力,并且存在各制作工序误差的积累.本文研制了一种装置,通过检测透镜修正前后光落点在荧

期刊

曝光台校正透镜修正效果检测落点位移光斑图像荫罩式彩色显像管制备光学曝光Error correctionEvaluationProduction

锆、钒离子注入铝形成金属间化合物

利用金属蒸气真空弧离子源,将大束流Zr和V离子注入到Al中,在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Zr,Al10V和Al3V.当Zr离子束流密度为64 μA/cm2,剂量为5×1017 ions

期刊

金属间化合物离子注入力学性能铝表面改性锆离子钒离子AluminumIntermetallicsMechanical propertiesVanad

SrTiO3斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7—δ薄膜的扫描探针显微镜研究

采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa2Cu3O7

期刊

SrTiO3斜切基片外延生长扫描探针显微镜YBA2CU3O7-Δ薄膜表面形貌钛酸锶Epitaxial growthLaser pulsesStro

共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟

与本文相关的学术论文