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本文设计了一种静电梳齿驱动、差分电容检测的MEMS陀螺仪,结构采用双质量块对称设计,能够有效抑制轴向加速度的干扰。利用Ansys对MEMS陀螺仪进行了仿真分析,在模态仿真中分析了陀螺结构的固有频率与振型;在静态仿真中,分析了陀螺结构在X方向、Y方向及Z方向受到50G冲击载荷时的应力分布情况,保证了弹性梁等危险区域可以承受一定的冲击载荷。