扭转臂杠杆式MEMS膜开关的分析

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yecaifa

【摘要】

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为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题,提出了一种独特结构的MEMS微波开关-扭转臂杠杆式膜开关,并对其进行了理论分析,用conventor ware

【作者】

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谢兴军单红苏伟

【机构】

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重庆大学,中国工程物理研究院

【出处】

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传感器技术

【发表日期】

：

2004年7期

【关键词】

：

MEMS膜隔离度插入损耗共面波导 MEMS membrane isolation insertion loss coplanar waveguide

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为解决现有的MEMS微波开关的激励电压太高、微连接和膜开关的击穿电压等问题,提出了一种独特结构的MEMS微波开关-扭转臂杠杆式膜开关,并对其进行了理论分析,用conventor ware和ADS(advanced design system)软件进行了仿真.由于利用了膜结构以及扭转臂和杠杆的原理,这种独特的MEMS微波开关激励电压比较低、隔离度较高、插入损耗比较低、稳定性好.

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