【摘 要】
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硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对
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硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析.
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