注入损伤及其对隧穿的影响

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【摘要】

：

注入损伤及其对隧穿的影响＝Ｉｍｐｌａｎｔａ－ｔｉｏｎｄａｍａｇｅａｎｄｉｔｓｅｆｆｅｃｔｏｎｃｈａｎｎｅｌｌｉｎｇ［刊，英］／Ｂｅｎ－ｎｅｔｔ．Ｄ．Ｊ．…Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎ．Ｊ．－１９９３．２４（７）．－８１１～８１７用隧穿效应模拟硅中的注入... Implantation Injury and Its Impact on Tunneling Implantation and Impression Tunneling Bennett / Benne

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1995年01期

【关键词】

：

精确模拟离子分布

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