【摘 要】
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设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列，用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术，在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性，电极高度为80μm的生物刺
【机 构】
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上海交通大学微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
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设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列，用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术，在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性，电极高度为80μm的生物刺激电极阵列，通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装，电极柱和焊盘均镀金，从而提高电极的生物相容性。采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试，在10^-1～10^5Hz频率范围内，其阻抗为1．5～0．3kΩ。制造出的器件尺寸小，质量轻，可靠性高，机械柔性好，符合生物电刺激要求。
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