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针对一些特殊材料表面形貌的检测需要,在原有国产商用激光检测原子力显微的基础上,设计研制了适用性更广、功能更强的原子显微镜,在不提高驱动电压的前提下,采用改进的扫描管,将扫描范围从15μm×15μm提高到了50μm×50μm;改进了原有的微探针扫描模式,在探针施加一驱动的简谐振荡信号,使探针发生振荡。由于存在着表面的力梯度,,当样品距离发生振荡变化时,针尖振荡的振幅、频率和位相都会随之改变。用电子信