【摘 要】
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应用透射式电子显微镜观察了GaAs-Al_xGa_(1-x)As多层异质结结构中的“精细低维调制条纹”。在邻近GaAs-Al_xGa_(1-x)As超晶格层的缓冲层中和与这缓冲层邻近的GaAs-Al_xGa_(1
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,牛津大学 北京,英国 利物浦大学
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应用透射式电子显微镜观察了GaAs-Al_xGa_(1-x)As多层异质结结构中的“精细低维调制条纹”。在邻近GaAs-Al_xGa_(1-x)As超晶格层的缓冲层中和与这缓冲层邻近的GaAs-Al_xGa_(1-x)As超晶格层的小区域中发现了等宽度的“精细低维调制条纹”,其宽度为9.1(?)的GaAs条纹,12(?)的Al_xGa_(1-x)As条纹。文中介绍了用显微密度计获得的这些条纹的密度分布结果。同时还给出了GaAs-Al_xGa_(1-x)As 多层异质结结构的晶格像和用X射线能量散射谱技术获得的成分定量分析结果。
The “fine low-dimensional modulated stripes” in the GaAs-Al_xGa_ (1-x) As multilayer heterojunction structure were observed by a transmission electron microscope. An equal width of “fine” is found in a small area in the buffer layer adjacent to the GaAs-Al_xGa_ (1-x) As superlattice layer and in the GaAs-Al_xGa_ (1-x) As superlattice layer adjacent to this buffer layer Low-dimensional modulation stripe "with a width of 9.1 (?) GaAs stripes, 12 (?) Al_xGa_ (1-x) As stripes. The paper presents the results of the density distribution of these stripes obtained with a micrometer. At the same time, the lattice images of GaAs-Al_xGa_ (1-x) As multilayer heterojunction structure and the quantitative analysis of the composition obtained by X-ray energy dispersive spectroscopy were also given.
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