【摘 要】
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采用Au作为感应读出式光子计数成像探测器的光阴极,在分辨率测试板上蒸镀了薄膜厚度为15nm的Au作为透射式阴极。实验测试了加Au阴极后微通道板（MCP）的增益性能,探测器的分辨率
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
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采用Au作为感应读出式光子计数成像探测器的光阴极,在分辨率测试板上蒸镀了薄膜厚度为15nm的Au作为透射式阴极。实验测试了加Au阴极后微通道板（MCP）的增益性能,探测器的分辨率和计数率等成像性能,与未加Au阴极时相应的系统性能做了对比。结果表明,加Au阴极后MCP的脉冲高度分布呈准高斯型,随着MCP工作电压的提高,脉冲高度分布曲线的峰值向高增益方向移动,曲线的半峰全宽（FWHM）逐渐变宽;Au阴极有效提高了光子计数成像探测器的探测效率和信噪比;分辨率测试结果表明加Au阴极后探测器的空间分辨率优于75μm
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