【摘 要】
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利用微波等离子体方法在硅微尖阵列上生长了金刚石膜，并利用SEM和X射线衍射对金刚石膜进行了研究．
Diamond films were grown on silicon microprisms by microwave plasma an
【机 构】
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利用微波等离子体方法在硅微尖阵列上生长了金刚石膜，并利用SEM和X射线衍射对金刚石膜进行了研究．
Diamond films were grown on silicon microprisms by microwave plasma and diamond films were investigated by SEM and X-ray diffraction.
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