【摘 要】
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设计了一台多阴极的金属蒸气真空弧离子源,它有18个阴极,任一阴极都能在真空状态下被迅速接入电路工作。这是一种新型的强流金属离子源,特别适用于离子注入、材料改性。在脉
【机 构】
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设计了一台多阴极的金属蒸气真空弧离子源,它有18个阴极,任一阴极都能在真空状态下被迅速接入电路工作。这是一种新型的强流金属离子源,特别适用于离子注入、材料改性。在脉冲工作方式下,引出了Al、Ti、Cr、Ni、Cu和Nb等元素的离子,平均束流达10mA以上,引出束流与阴极材料、弧流、引出电压等有关。该源的工作真空度为300μPa。
A multi-cathode metal vapor vacuum arc ion source was designed with 18 cathodes. Any cathode can be quickly connected to the circuit under vacuum. This is a new type of high-flow metal ion source, especially suitable for ion implantation, material modification. Under the pulse mode, ions of elements such as Al, Ti, Cr, Ni, Cu and Nb are extracted, and the average beam current reaches 10mA or more. The outgoing beam current is related to the cathode material, arc current and extraction voltage. The working vacuum of this source is 300μPa.
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