【摘 要】
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介绍了一种可调光栅的制作方法。首先通过紫外线光刻的方法,制作出微米尺度的光栅结构(周期8μm),然后将光栅复制在聚甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上,形成内嵌式PDMS光栅。利用PDMS
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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介绍了一种可调光栅的制作方法。首先通过紫外线光刻的方法,制作出微米尺度的光栅结构(周期8μm),然后将光栅复制在聚甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上,形成内嵌式PDMS光栅。利用PDMS优异的弹性,将此薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数也随之变小,周期调节极限为5μm。传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂,难以控制,制作成本高,周期较长。提出的制作可调光栅的方法成本低,周期短,工艺过程简单易控制,可广泛应用于微型光谱仪、扫描仪、光通信等领域。
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