MEMS高G值加速度传感器设计

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针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。 According to the testing requirements of special occasions, a high g-value beam-island structure accelerometer with full-branch support at four ends was designed. In the structure, KOH corrosion on the back of the mass block was used to reduce the mass of the mass and reduce the center of mass and the beam center The relative distance of the face. The structure and size of the structure are determined by mechanical calculation and technology. The stress sensitivity analysis and modal analysis are carried out by Ansys software, and the output sensitivity and first-order natural frequency of the structure are obtained. Finally, the transient analysis shows that the structure can withstand 20,000 g transient impact, in line with design requirements.
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