【摘 要】
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主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择
Mainly discusses the alignment of the bottom of the lithography machine alignment
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 成都610209,成都610209,成都610209,成都610209
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主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择
Mainly discusses the alignment of the bottom of the lithography machine alignment principle, the structure of the workpiece table and alignment mark the choice of form and size
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