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扫描电镜是一种能够对表面微观世界进行全面分析的多功能的电子光学仪器.广泛应用于现代生物学、医学、地质学、材料科学和半导体......
2.吊臂变幅马达的分解与组装(1)分解参见图27,吊臂变幅马达的分解程序如下。①将吊臂变幅马达放在工作台上,从壳体18中拆下塞子16,......
套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法 ,举例说明了众多对准标记在实际掩模版上......
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介绍了双面光刻对准原理及技术新发展，表明了不变焦对准的技术优势。针对玻璃基片设计了十字加方框的对准图样，经重新调焦，利用基片透......
现代光学和IC产业的发展要求光学器件的微型化、阵列化和集中化，从而产生了微光学技术。微光学技术是光学与微电子学、微机械学相结......
随着光刻机技术水平的提高,特征线宽的尺寸减小到纳米级,对光刻机对准系统提出了更高对准精度的性能指标。本论文首先介绍了各种相......
主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择
Mainly discusses the alignment of the bott......
