【摘 要】
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为了研究ITO薄膜在宽角度电磁屏蔽激光窗口中的应用效果，采用双离子束溅射镀膜技术在不同工艺条件下制备了ITO薄膜，根据薄膜的光电性能测试结果，分析了氧气流量、辅助离子源、基片烘烤温度等工艺条件对ITO薄膜透光性和导电性的影响。用Ti2O3和SiO2作为高、低折射率材料，ITO薄膜作为电磁屏蔽膜层，在K9玻璃基片上设计了对2～18GHz电磁波高效屏蔽的0°～45°宽角度入射的1064nm激光窗口膜层
【基金项目】
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中国兵器工业集团技术开发项目（Z2102）；
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为了研究ITO薄膜在宽角度电磁屏蔽激光窗口中的应用效果，采用双离子束溅射镀膜技术在不同工艺条件下制备了ITO薄膜，根据薄膜的光电性能测试结果，分析了氧气流量、辅助离子源、基片烘烤温度等工艺条件对ITO薄膜透光性和导电性的影响。用Ti2O3和SiO2作为高、低折射率材料，ITO薄膜作为电磁屏蔽膜层，在K9玻璃基片上设计了对2～18GHz电磁波高效屏蔽的0°～45°宽角度入射的1064nm激光窗口膜层，并利用双离子束溅射技术在合适的工艺条件下完成了薄膜的制备。测试结果显示，制备的薄膜透光性和电磁屏蔽性能良好，具有一定的耐酸性，适合作为高效电磁屏蔽、0°～45°宽角度入射的1064nm激光窗口膜层。
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