【摘 要】
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通过对kyky—1000B型扫描电镜普通三极电子枪的不同几何尺寸、低加速电压下的束斑直径电子枪亮度、信噪比的测量,以及对低压高倍像的观察,探讨了观察低压象的条件。实验表明,
【机 构】
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中国科学院北京科学仪器研制中心,中国科学院北京科学仪器研制中心
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通过对kyky—1000B型扫描电镜普通三极电子枪的不同几何尺寸、低加速电压下的束斑直径电子枪亮度、信噪比的测量,以及对低压高倍像的观察,探讨了观察低压象的条件。实验表明,在正常状态下加速电压低于5KV时,由于空间电荷效应,电子束斑点急骤加大;亮度急骤下降;致使图象分辩率变坏;S/N差,观察较高倍率很困难。对不同加速电压下缩短1000B SEM的阳—栅极间距离,使电子束斑直径明显减小,亮度提高半个数量级,使图象分辩得到明显改善。
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