【摘 要】
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本文主要从四个方面较详细地介绍电外延技术:一、生长机理;二、生长过程的动力学理论,提出了对流和无对流模型,进而讨论了外延层的生长速度和厚度,並提出在电外延生长过程中
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本文主要从四个方面较详细地介绍电外延技术:一、生长机理;二、生长过程的动力学理论,提出了对流和无对流模型,进而讨论了外延层的生长速度和厚度,並提出在电外延生长过程中的珀尔帖致冷和电子迁移作用的判断;三、生长技术;四、电外延技术和通常的液相外延技术的比较。
In this paper, the electrical epitaxial technology is introduced in more detail from four aspects: one is the growth mechanism; the other is the kinetic theory of the growth process; the convection and convection-free model is proposed; then the growth rate and thickness of the epitaxial layer are discussed; Peltier electrochromic growth in the process of cooling and electron transfer judgment; Third, the growth of technology; Fourth, the electrical epitaxial technology and the usual liquid phase epitaxial technology comparison.
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