【摘 要】
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本篇介绍一种新型柱状靶，此靶结构简单，安装方便，具有较高的靶材利 用率，良好的溅射均匀性及溅射方向的选择性，是一种很有发展前途的新型溅射源。
This article introduces a new
【机 构】
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北京仪器厂,北京仪器厂 北京市 100022,北京市 100022
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本篇介绍一种新型柱状靶，此靶结构简单，安装方便，具有较高的靶材利 用率，良好的溅射均匀性及溅射方向的选择性，是一种很有发展前途的新型溅射源。
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