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半导体厂使用的气体／化学品种类繁多，且因制程变化与产品线变更而常有制程变更方面的需求，在管理上的确需要花许多心思以降低气体／化学品对工厂财物损失与人命安全所造成的风险。以下面提出一些管理建议。
半导体厂的气体与化学品管理
【摘 要】
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半导体厂使用的气体／化学品种类繁多，且因制程变化与产品线变更而常有制程变更方面的需求，在管理上的确需要花许多心思以降低气体／化学品对工厂财物损失与人命安全所造成的风险。
【出 处】
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安防科技
【发表日期】
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2004年12期
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