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采用水热技术制备的硅纳米孔柱阵列（Si—NPA）是一种具有规则层次结构的硅微米／纳米结构复合体系，具有广谱光吸收和光致发光特性。针对由HF和Fe（NO3）3组成的水热腐蚀溶液体系，研究了溶液组分浓度、腐蚀温度等制备条件对Si—NPA表面硅柱密度及其光致发光性能（PL）的调制作用。结果表明，当蒋蚀温度、HF（或Fe^3＋）浓度固定而变化Fe^3＋（或HF）浓度时，硅柱面密度随HF（或Fe^3＋）浓度的增加呈指数减小趋势，但样品的PL峰位保持不变；当溶液中Fe^3＋，HF浓度固定时，硅柱面密度随腐蚀温度的升高