【摘 要】
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在作为微器件电气互连主要手段的热超声键合工艺中，微细键合区域内金属变形／变性／互连所需的能量，来自于超声波功率源通过换能系统所施加的微幅压剪动载．对热超声倒装键合过程的研
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:50575230,50429501,50390064);国家重点基础研究发展规划(批准号:2003CB716202)资助项目~~
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在作为微器件电气互连主要手段的热超声键合工艺中，微细键合区域内金属变形／变性／互连所需的能量，来自于超声波功率源通过换能系统所施加的微幅压剪动载．对热超声倒装键合过程的研究说明，PZT换能系统在热超声倒装键合工艺过程中的非线性动力学行为，如换能系统启动后的初值敏感性和不确定性，键合工具与换能杆之间的不稳定动力耦合，倒装芯片运动的奇异相轨线等，是深入研究键合机理以及提高工艺可靠性的重要关键．
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