【摘 要】
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目前栅式位移传感器主要有光栅、容栅、球栅、感应同步器、旋转变压器、时栅等，提高其精度一般通过增加栅线密度和读数头数量来实现，或者依靠高精度母仪来检测和修正误差，但是这
【机 构】
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重庆理工大学,时栅传感及先进检测技术重庆重点实验室
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目前栅式位移传感器主要有光栅、容栅、球栅、感应同步器、旋转变压器、时栅等，提高其精度一般通过增加栅线密度和读数头数量来实现，或者依靠高精度母仪来检测和修正误差，但是这种方式对传感器的加工和安装要求高，或者传感器精度长时间保持性差。本文针对上述问题，提出了基于等差相位构建正交信号、实现多读数头测量、误差特征参数自辨识和误差自修正的新方法，该方法不增加加工和安装难度，定子和转子的槽数接近，多读数头有机集成在同一个定子，使读数头的一致性好。实验结果表明：基于等差相位构建多读数头误差成分少，通过多读数头误差特征参
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