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[学位论文] 作者：尚瑛琦,
来源： 年份：2012
由于微电子技术飞速发展使芯片功耗足够小，已达到微、纳瓦量级水平，组成的系统也在毫瓦量级；为此提出将周围环境的振动能量转换成电能收集并存储起来，使其作为系统能源成为可能。本文基于CMOS和MEMS工艺研究带电路输出的PZT电能收集器，采用溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜，......
[期刊论文] 作者：张岩,尚瑛琦,王晓光,刘智辉,,
来源：中国新技术新产品 年份：2013
本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整...
[期刊论文] 作者：于海超,尚瑛琦,刘智辉,张岩,
来源：传感器与微系统 年份：2020
对当前基于锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)薄膜微系统器件的研究进展进行了综述,对PZT传感器、PZT能量收集器、PZT驱动器的研究进展以及采用不同工艺PZT薄膜的制备技术进行了阐述。对...
[会议论文] 作者：尚瑛琦,齐虹,马云龙,张岩,陈婧,
来源：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2016
针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀面面粗糙度及腐蚀速率的...
[会议论文] 作者：齐虹;尚瑛琦;张岩;李玉玲;马云龙;,
来源：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2016
SPC即统计过程控制,是借助数理统计方法的过程控制工具.在压力敏感芯片生产工艺中对关键工艺实施SPC控制,可降低质量成本,提高产品的可靠性和成品率,保证产品生产过程的稳定...
[期刊论文] 作者：邱成军,尚瑛琦,刘红梅,刘芳,徐勇,
来源：黑龙江大学自然科学学报 年份：2011
在谐振梁能量收集器中PZT膜材料的制备起着至关重要的作用,复合结构的锆钛酸铅（PZT）厚膜采用溶胶-凝胶方法旋涂在硅基的Au/Cr/SiO2/Si结构衬底的制备方法,主要因为溶胶-凝胶制...
[期刊论文] 作者：邱成军,尚瑛琦,刘红梅,刘芳,徐勇,,
来源：黑龙江大学自然科学学报 年份：2011
在谐振梁能量收集器中PZT膜材料的制备起着至关重要的作用,复合结构的锆钛酸铅(PZT)厚膜采用溶胶-凝胶方法旋涂在硅基的Au/Cr/SiO2/Si结构衬底的制备方法,主要因为溶胶-凝胶...
[期刊论文] 作者：吴佐飞,齐虹,张岩,尚瑛琦,刘嘉铭,岳宏,
来源：传感器与微系统 年份：2022
针对微机电系统(MEMS)绝缘体上硅(SOI)压力敏感芯片电阻条刻蚀过程中易损伤的问题,对敏感电阻条的刻蚀工艺进行优化设计,通过调整平板功率、气体流量比例等参数,最终找出最优的工艺参数,减少等离子体对敏感电阻条的侧向损伤,从而提高SOI压力敏感芯片的稳定性.......
[期刊论文] 作者：张林超, 李玉玲, 尚瑛琦, 宋尔冬, 马壮, 陈婧, 佟春,
来源：微纳电子技术 年份：2004
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