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[期刊论文] 作者：曾毅波,张艳,蒋书森,
来源：中国塑料 年份：2007
分析音箱前壳塑件工艺性和模具设计中的难点。提出了塑件结构和模具结构的改进方案，避免塑件注不满、黏定模等缺陷。详细介绍型腔表面电火花加工技术和浇口设计方案。...
[会议论文] 作者：王婷婷;曾毅波;赵祖光;郭航;,
来源：第十三届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2014
直接甲酸燃料电池(Direct Formic Acid Fuel Cell,DFAFC)相较于直接甲醇燃料电池(Direct Methanol Fuel Cell,DMFC)存在质子电导率高,能量密度高和Nafion膜渗透率低等优势.因...
[期刊论文] 作者：曾毅波,王凌云,谷丹丹,孙道恒,,
来源：光学精密工程 年份：2009
为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声......
[期刊论文] 作者：曾毅波,刘俊,陈观生,郭航,
来源：厦门大学学报：自然科学版 年份：2012
微型直接甲醇燃料电池（micro direct methanol fuel cell,μ-DMFC）具有发电效率高、环境污染少、安全、携带方便等优点,在小型民用电源和单兵携带电源上具有广泛的应用.讨论了...
[期刊论文] 作者：陶也,曾毅波,刘畅,林杰,郭航,,
来源：厦门大学学报(自然科学版) 年份：2013
获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤．首先在理论分析的基础上，确定了微型电容式压力传感器的基本参数，而后在制备中，发展了一种新型的硅......
[期刊论文] 作者：李元元,蒙庆华,陈四海,曾毅波,郭航,,
来源：传感器与微系统 年份：2017
通过对微光纤法布里-珀罗（F-P）腔滤波器工作原理的综合分析,确立了微F-P腔滤波器静电驱动腔长调谐方案。对可调谐滤波器的主体部分进行光学设计和分析,确立了反射镜的多层薄膜...
[期刊论文] 作者：曾毅波,蒋书森,黄彩虹,张玉龙,张艳,,
来源：光学精密工程 年份：2008
研究了激光共焦扫描显微镜（LSCM）在微结构分析中的应用，综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能，使其可用于大角度测量；与图像处理系统相结合，便于微结构的定性和定量......
[期刊论文] 作者：李元元,蒙庆华,陈四海,曾毅波,郭航,,
来源：传感器与微系统 年份：2016
采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射Ni Cr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属...
[期刊论文] 作者：曾毅波,刘畅,陈观生,赵祖光,郭航,,
来源：传感技术学报 年份：2013
石英薄膜的质量是决定各种石英基底的微纳器件品质高低的关键所在。阐述如何运用研磨和化学机械抛光CMP(Chemical&Mechanical Polishing)技术获得高品质石英薄膜的方法。由于...
[期刊论文] 作者：林智鑫,王盛贵,刘琦,曾毅波,郭航,,
来源：传感器与微系统 年份：2013
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层（玻璃—硅—玻璃）的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质......
[期刊论文] 作者：曾毅波,刘俊,陈观生,赵祖光,郭航,
来源：太阳能学报 年份：2014
以微型直接甲醇燃料电池(Micro Direct Methanol Fuel Cell,简称μ-DMFC)输出性能为研究对象,首先通过MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)工艺,分别制作4种...
[期刊论文] 作者：赵祖光,刘俊,陈观生,曾毅波,王婷婷,郭航,
来源：纳米技术 年份：2014
利用CFD软件COMSOL对微型直接甲醇燃料电池(Micro Direct Methanol Fuel Cell, µDMFC)进行模拟仿真分析,该三维稳态模型综合考虑了电化学动力学、化学反应和组分传递的...
[期刊论文] 作者：陈观生, 曾毅波, 刘俊, 赵祖光, 林杰, 郭航,,
来源：传感器与微系统 年份：2013
微型直接甲醇燃料电池中阳极流场结构对电池的性能有着重要的影响。为了合理设计阳极流场结构,改善甲醇燃料在阳极流场中的分布,采用计算流体动力学(CFD)软件Fluent对微型直...
[期刊论文] 作者：王婷婷,曾毅波,王盛贵,魏秀燕,毕瑞可,郭航,,
来源：传感器与微系统 年份：2014
在芯片级铷原子钟中，需要微腔体来承载Rb-87滤光泡，为此，提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象，研究中采用了超......
[期刊论文] 作者：毕瑞可, 张杰, 吴玉玲, 曾毅波, 张为中, 郭航,,
来源：微纳电子技术 年份：2004
作为碳原子家族的最新成员,二维结构的石墨烯具备优异的物理化学性质和广阔的应用前景,成为新材料研究领域的热点研究对象。对化学气相沉积(CVD)法进行了优化,成功制备得到了...
[期刊论文] 作者：曾毅波,陈观生,赵祖光,刘畅,刘俊,王婷婷,郭航,
来源：传感技术学报 年份：2013
在堆栈式微型直接甲醇燃料电池μ-DMFC（Micro-Direct Methanol Fuel Cell）中,为了避免硅基流场板因为封装压力过大而破裂,采用了硅和PDMS（Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷）...
[期刊论文] 作者：王婷婷，曾毅波，王盛贵，魏秀燕，毕瑞可，郭航，WANGTin,
来源：城市道桥与防洪 年份：2014
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：曾毅波,张杰,许马会,郝锐,沈杰男,周辉,郭航,
来源：光学精密工程 年份：2018
化学机械抛光（Chemical ＆ Mechanical Polishing,CMP）工艺已运用于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）中，并逐渐成为研制高品质微纳器件不可或缺的一道关键技术。区...
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