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为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题，采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度......
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1 Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ＭＥＭＳ (ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ )ｂａｓｅｄｏｎｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｐｌａｙｓｉｍ ｐｏｒｔａｎｔｒｏｌｅｓｆｏｒｅｘａｍｐｌｅｉｎｔｈｅ ｐｅｒｉｐｈｅ
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