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基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺，提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计，并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对......
表面微加工工艺是MEMS(Micro Electro Mechanical System)器件制造的一种重要技术,可以利用不同的材料在衬底硅片上不同的淀积顺序......
在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。介绍了微型可编程......
为了从中枢神经系统记录电信号，半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造．介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程．我们已经制造出......
本文以微器件设计为对象，对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究，提出了采用基......
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传统MEMS(Micro Electromechanical Systems,微机电系统)器件设计模式是面向制造的模式,已无法满足日益复杂的MEMS器件设计,研究新......
研究小量程压力传感器的目的在于解决小量程压力环境下的压力测量问题。针对传统MEMS压力传感器在测量小量程压力时灵敏度会下降的......
在介绍了北大微电子所开发的两层多晶硅表面微加工工艺和源于加州Berkely传感器与执行器研究中心的三层多晶硅表面微加工工艺的基......
