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公共阳极相关论文
玻璃与铝共阳极连接工艺研究及界面机理分析
研究了铝与玻璃的阳极连接方法,采用公共阳极法和直流电源实现了玻璃/铝/玻璃的多层连接,这为多层晶片的连接以及复杂微电子装置的设计......
期刊
静电键合
玻璃
铝
公共阳极
electrostatic bonding glass aluminum public anode
Pyrex玻璃与金属阳极键合机理及界面结构和力学性能的分析
阳极键合技术(anodic bonding)也称之为静电场连接是一种连接金属、半导体与陶瓷材料的很重要的方法,也是MEMS封装中常用的一种方法......
学位
阳极键合
玻璃
硅
铝
可伐合金
公共阳极
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