电子气体相关论文
随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高.半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性.光腔衰荡......
电子级氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)和氟化氢(HF)等高纯气体是半导体领域不可或缺的原材料之一,作为芯片先进支撑的一类核心气体主要......
耐HC1和水协同腐蚀、低二次杂质释出是吸附材料用于HC1电子气体深度除水的先决条件.在考察了一系列工业化硅铝酸盐分子筛的耐蚀性......
摘要：本文首先阐述了管路内壁去除水分的原理，并介绍了电子气体生产装置中隔膜压缩机气体管路水分处理方法的改进。改进后的处理方法......
该文运用闭路格林函数方法,比较简明地导出了电子气体热力学势的表达式,同时还得到了新的交换项.这个交换项在有限温度下可以化为......
巨化股份前3 季度实现营业收入 69 亿元, 同比下滑3%.净利润1.39亿元,同比增长20%.发展趋势非公开发行推进公司氟化工产业升级.公......
2021年1月4日,上海市重大项目集中开工仪式上海化工区分会场暨昭和电子高纯度电子气体扩建项目开工仪式在上海化工区内举行。昭和......
在极低温度下，金属中自由电子的热容量不能忽略，考虑到自由电子气体应当遵从量子统计的费米分布，温度为T时处在能量为ε的一个量子态......
近几年来，随着中国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是......
利用夫兰克-赫兹实验仪测量了电子气体的速度分布函数．并分析了电子与氩原子碰撞的动力学过程．......
采用氦离子检测器（PDHID）及以热导检测器（TCD）与火焰离子化检测器（FID）组合的两种不同气相色谱分析方法测定四氟化碳（CF4）中的杂质,结果表......
强耦合等离子体是一个广泛研究的课题,人们对其持续甚至增加的兴趣来自所有的长程库仑相互作用多粒子系统有许多需要解决的基本理......
分析了国产化高纯硅烷气发展的迫切需求,着重介绍单硅烷气的特性、主要合成方法及用途,下游产业链发展,简述了衢州硅烷气体的发展......
高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性,蚀刻时在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方......
综述了2000年全球工业气体市场,着重论述了北美、欧洲和亚太地区的工业气体市场....
随着电子工业迅速发展,六氟化钨被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。综述了现有六氟化钨最常用......
随着电子工业在国内日益发展的趋势,大家也已经意识到电子气体是发展电子工业的重要基础之一,是世界各国争取在电子工业的未来技术......
近两年LED产业爆发式增长，成为各路资金追捧的对象。然而不容回避的是，我国LED产业的疯狂扩张主要聚集于衬底和芯片、封装等产业链的......
综述了国外工业气体市场，部分气体的应用技术开发，医用氧的应用及主要跨国气体公司的财政收支概况。......
本文考虑沟道效应对价电子阻尼能力的影响,计算了质子入射到金刚石晶体<110><111>和<100>三个沟道方向的能量损失。不仅在计算方法......
国家要大力发展的半导体产业搞得轰轰烈烈,而其上游配套原材料——国产电子气体的生产却冷冷清清。原来这条产业链上的上半截在国......
四氟化硅是一种有机硅化合物合成材料,被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。本文介绍了四氟化硅......
本文对电子气体净化器的结构、分类、净化指标进行了分析,并讨论了柱体材料、过滤材料和净化材料的选择问题,在此基础上,总体性概......
腐蚀性电子气体HF主要用于半导体工业中硅晶片的刻蚀和表面清洗,是微纳电子制造中的关键气体之一。随着微纳电子工业先进制造向高......
回顾2015年中国气体的现状,对未来中国气体进行了预测。提出了我国标准气体属地化生产与经营的想法,对于我国各类主要电子气体同发......
本文概括了国外三氟化氮的发展情况,介绍了三氟化氮的性质、制备、用途和特点,特别指出它在环保方面的优点。三氟化氮是电子工业用......
详细地介绍了中国电子气体的技术现状。从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍。同时 ,......
前进中的我国特种气体行业梁国仑，申屠棠（化工部光明化工研究所大连４８１信箱１１６０３１）新材料对国民经济建设和国防建设起着关键的支撑作用，是当今科......
<正>8月15日,Entegris公司携手博纯材料(福建)有限公司,为博纯位于泉州永春的新化学工厂举办盛大开幕式,庆祝Entegris与特殊化学品......
介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较。六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用......
<正> 电子气体是发展大规模、超大规模和兆位级集成电路必不可少的材料。目前国外256K DRAM(动态存取存储器)已进入成熟期,1兆位DR......
概述了电子气体的种类、纯度以及其应用状况,综述了电子气体中几种常见杂质不同的分析方法以及特殊气体的不同处理方法,指出了电子......
回顾了我国集成电路产业的发展历程，介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩，指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。......
