单面抛光相关论文
利用ＹＡＧ脉冲激光器的３５５ｎｍ和５３２ｎｍ波长制各类金刚石薄膜，采用电极放电法来激发激光等离子体出射簇，发现可较好地提高薄膜的红外透过率；薄膜的红外吸......
在材料科学中,透射电子显微术是十分重要的研究方法。进行材料的透射电子显微镜观察、首先要将大块样品制成极薄的试样小片,这一......
文中介绍采用二氧化硅微粉和锡抛光盘的行星式双面抛光法,在抛光压力100～300g/cm~2。抛光液浓度5～10wt%,抛光盘转速75～90rpm下,抛光石......
本文主要介绍了一种采用抛光垫夹持锗片进行抛光的新型抛光工艺。通过对比选用不同型号的抛光布,施加不同抛光压力及采用不同抛光......
本文介绍了光学冷加工中的一种新工艺——双面精磨与双面抛光,对套环式自由控制双面精磨和抛光工艺的工作原理、零件运动原理、工......
在光学冷加工中,聚胺脂作为抛光材料充分显示了其效率高、费用低的优点。但是在成盘加工中,上盘下盘等辅助工序仍然占用了大量的......
目前在光学冷加工市场有一定量的单面抛光板材的需求量,由于这种零件大多在要求只有一个面抛光的同时,对抛光面的面型有较高的要求......
用快速热处理对单面抛光硅片进行初始热氧化,800℃下在晶硅基表面制备出15,30和60 min三个时间段的超薄氧化硅层。采用角分辨X射线......
对硅片表面氧化层错形成机理进行了探讨。并通过中子辐照在直拉硅中引入缺陷，利用辐照缺陷和硅中氧的相互作用，强烈抑制硅片表面氧化......
本工作研究了离子减薄法制备的砷化镓样品,用JEM—200CX透射电子显微镜沿〔110〕方向观察它的晶体结构。得到了这一方向的晶格像。......
本文分析了表面热诱导微缺陷与体缺陷的相互作用,确定了表面热诱导微缺陷的主要来源,提出了消除的方法及其在检测漩涡缺陷方面的应......
分析了硅－玻璃静电键合界面受热循环作用，或者受反向电压作用后，在高温时，键合力的特点，实验验证了高温（４５０℃）时键合面牢固、稳定。研究结果......
以碳化硅(SiC)晶片为加工对象,提出了双面化学机械抛光和单面化学机械抛光相结合的抛光方法.先在双面抛光机上对SiC晶片硅面和碳面......
