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可动微机械—微机械的新发展
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用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作 可动微机械,动件和固定件同时制作,同现有的牺牲......
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