团簇束流淀积相关论文
本文采用低能团簇束流淀积(LECBD)装置,在不同温度的衬底上,制备得到不同形貌的锑化铟团簇颗粒,如三角形颗粒、六边形薄片和长方体......
利用低能中性团簇束流淀积（LECBD）方法制备硅团簇薄膜，观察到Si团簇特殊的分形生长现象，并对此非平衡动力学过程作初步的探讨。......
该文在作者自行设计国内唯一的集团簇产生,分析和材料制备于一体的LECBD装置上,对于由团簇束流淀积技术制备的重要的VI族元素半导......
新发展起来的低能团簇束流淀积技术（ＬＥＣＢＤ）由于其尺寸可控，以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Ｓｂ，Ｂｉ薄膜，并发现了许多新......
