为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF3)的干法刻蚀工艺进行了研究.采用感应耦......

本文研究了采用普通的接触式光刻机采制作PSs产品，并且使光刻出的Pss具有与stepper光刻机相同的效用，研究结果表明，通过开发出的自掩......

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......

近年来,图形化蓝宝石衬底(PSS)作为GaN基LED外延衬底材料被广泛应用。采用感应耦合等离子体(ICP)技术对涂覆有光刻胶阵列图案的蓝......

采用预铺Ga或NH3氮化等方式原位处理图形化蓝宝石衬底（PSS）表面,然后外延生长了GaN薄膜,研究了PSS表面预处理对GaN薄膜表面形貌、晶......