准LIGA技术相关论文
在我国制造行业飞速发展的过程中，微机械制造工艺已经在各个行业领域之中得到了广泛的应用，而这一制造体系本身也是目前人类社会极为......
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical Sy......
为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机.定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反......
综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展；分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微......
利用准LIGA技术可制造出固定的或可转动的金属微结构,被看作是影响下世纪微机械加工的一项重要技术。介绍了基于准LIGA技术的微齿......
ＬＩＧＡ技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通......
本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺。对LIGA重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了......
准ＬＩＧＡ技术吸收了体硅微加工技术和ＬＩＧＡ技术的优点，利用此技术，用普通光不曝光机可将光刻图形转移产厚的光刻胶上，获得较大的深宽比，从而解决了......
MEMS是微电子技术与机械、光学领域结合而产生的,是20世纪90年代初兴起的新技术。MEMS与宏观机电系统相比,不仅几何尺寸大大缩小,......
微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发......
通过对铝基板及不锈钢基板上条纹沟槽表面接触角的测试，研究了条纹沟槽对材料表面润湿性的影响。试验用条纹沟槽表面采用准LIGA技术......
