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ＬＩＧＡ技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通光学曝光机将光刻图形转移到较厚的光刻胶上，而且深宽比可以做得很大。
利用多层光刻胶工艺的准LIGA技术
【摘 要】
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ＬＩＧＡ技术在微机械结构的制作中具有很重要的作用。针对ＬＩＧＡ技术所存在的缺点，提出了一种利用多层光刻胶工艺的准ＬＩＧＡ技术。利用此技术，可以用普通光学曝光机将光刻图形转移到较厚的光刻胶上
【机 构】
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清华大学微电子所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年02期
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