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观瞄系统是一种光机电控一体化的装置,在侦察、预警、制导和火控等武器装备中得到大量应用,能接收区域目标图像,识别目标运动状态,......
随着微电子行业的快速发展,对微电子制造装备的高速高精度的性能要求也越来越高,如何在高速状态下获取更高的测量精度,不仅与微电......
在微电子制造领域,垂直运动平台具有广泛的应用场景。随着白光干涉扫描等精密技术的发展,对垂直运动平台也提出了大行程高精度的定......
通过对光栅尺原理的研究,设计一种宏微复合切换测量模式,利用增量码进行低精度测量,绝对码进行高精度测量。采用增量方式采集莫尔......
为适应微电子制造装备中精密位移反馈装置的要求,提出并设计了一种新型宏微复合光栅尺测量系统.测量系统采用LabVIEW虚拟仪器系统......
为了实现宏微复合平台的精密定位,防止压电陶瓷行程饱和,对宏微平台之间的耦合影响进行了研究,分析了宏微平台耦合效应的产生机理,......
指向平台技术在航天和军工方面具有广泛应用，受到了众多学者的关注。我国深空探测、光通信、激光武器等新技术的飞速发展，对指向平台......
高速精密定位是电子制造的要求,轴系摩擦是影响精密定位的重要因素.目前,微米级以上精度必须通过消除摩擦影响的方式来实现,成本很......
微电子制造是关系国家安全与经济发展的重要行业。目前,新一代的微电子制造装备正面临高加速、高速、高精密、大行程等诸多挑战性......
微电子制造装备是制造业的一个重要领域,事关国家利益和国家安全。精密测量及末端定位技术作为微电子制造装备的关键技术,对提升我......
