微定位工作台相关论文
为了提高机床的定位精度,研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台.微定位工作台在滚珠丝杠副驱动......
为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响,采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制.利用跟踪微分器......
随着现代工业社会的发展,微定位技术在精密加工、精细操作等领域的应用愈加精进,其性能指标方面的要求也越来越高,开发一套兼具定......
将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台，通过实验研究了其位移与电压的关系．实验结果表明它......
设计一种用于平面磨削主动控制的新型数控微定位工作台。该工作台采用三个安装在底座上的压电陶瓷(PZT)驱动器驱动动平台，三个圆形......
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工......
本文研究了一种在四层平板之间并列分布多个压电陶瓷驱动器,通过控制压电驱动器产生微驱动,最终实现六自由度微定位的新方法。本文......
