薄膜工艺相关论文
光学诱饵在现代军事作战中具有举足轻重的地位,对战争胜负起着至关重要的作用,各国都在研究和发展光学诱饵技术和装备。传统光学诱......
微波滤波器是一种在微波电路中广泛应用的频率选择性器件,主要作用于雷达、通信导航、电子对抗等诸多领域。滤波器的实现形式多种......
本文进行了基于HTCC（高温共烧陶瓷）的多层有机介质薄膜制备技术的研究,针对工艺中出现的问题,分析了产生问题的原因,提出了相应的解......
采用信号干扰技术原理设计了一种微带线结构的微波滤波器,将目标频率的二次、三次谐波进行了一定程度的抑制。滤波器以厚度为0.381......
自从1956年,科学家Kojima首次使用有机无机杂化电解液法制备出了钙钛矿太阳能电池并获得了3.8%的光电转换效率以来,钙钛矿电池体系......
沉积速率是电子束蒸发制备光学薄膜的重要工艺参数之一,影响着成膜的微观结构和化学成分,从而对薄膜的光学性质和机械性质都产生很......
高场不对称波形离子迁移谱(FAIMS)，又称为差分式离子迁移谱(DMS)，是一种基于离子迁移率在高电场下非线性变化特性而实现离子空间分离......
本课题采用直接熔融缩聚法,以L-乳酸(L-LA)和乙醇酸(GA)为原料(L-LA和GA投料摩尔比为80/20；60/40；50/50),二水合氯化亚锡和对甲苯磺......
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)基于其自限制性,可以制备出均匀性好,厚度尺寸精确可控的薄膜。氧化物薄膜具有优良......
详细介绍了利用N-甲基吗啉-N-氧化物（NMMO）为溶剂溶解细菌纤维素以及制备再生细菌纤维素薄膜的工艺流程,并对NMMO溶解细菌纤维素机理......
本文介绍一种最新开发出的超灵敏硅压敏流量计,用于薄膜工艺中测量微小气体流量.它利用电容压敏器来测量和控制流量,其制造工艺简......
阐述了APS等离子体离子辅助沉积（PIAD）在光学镀膜中的应用，通过分析APS等离子源辅助沉积过程中离子束的能量传递过程，讨论了各种工艺条......
随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹,常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出,石英基材将成为星载微波电路板的首选......
介绍了化学液相淀积法制备氧化物薄膜的工艺过程及其在集成电路生产中的应用,并报道了一些最新研究成果.......
Photoelectrochromic device is a combination of dye-sensitized solar cells and electrochromic WO3 layers. Ectrochroelmic ......
采用薄膜工艺制备适合高压力测量的阵列式传感器,文中介绍了该传感器的制造工艺、工作原理。动态加载实验表明,传感器阵列的压阻一......
引言:微电子技术作为现今电子产业发展的关键技术具有广阔的发展前景,但其在发展过程中不可避免的出现一些阻碍因素影响微电子技术......
新一代的氮化铝(AlN)陶瓷基板,导热系数高达230W(m.k),介电损耗0.0002,相对介电常数8.7,电阻率>1014Ω.m,热膨胀率4.0-6.0,3点抗弯......
随着半导体材料与器件、光盘技术和微光学、微机械、计算机和信息等产业的发展,表面质量的检测越来越引起人们重视,其中面形误差的......
回顾了二十四所混合集成电路专业方向的发展历程。按不同历史阶段，介绍了二十四所混合集成电路二十余年的技术进步轨迹和所取得的主......
下面将以CSP的制作流程图的形式来介绍薄膜工艺在CSP制造中的作用。CSP制造中的薄膜工艺CSP(Chip Scale Package或Chip Size Packa......
宽束考夫曼离子源被广泛地应用于薄膜工艺刻蚀、镀膜、注入诸领域。近20年来考夫曼离子源在我国得到了迅速的发展。至此已有必要提......
为了提高相控阵雷达的分辨精度，需要更宽的工作带宽。这对星载、机载相控阵雷达天线阵面的延时器提出了更高的要求。既要求体积小、......
薄膜工艺是半导体工艺重要组成部分,较广泛的采用物理气相沉积和化学气相沉积方法。通常把PECVD才直接称为淀积工艺,其工艺受多方......
根据厚膜工艺的特点和微波电路的要求，采用了厚膜工艺和薄膜工艺相结合的方法，论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径，并对其膜层的致......
随着信息时代的发展,信息传播所需的通信频率,成为了重要资源。具有优秀频分复用性能的通信系统成为发展的方向。滤波器在通信系统......
介绍了一种适合气态和液态流体的新型热敏电阻式流量传感器,采用了陶瓷、Al2 O3 、金属铂和不锈钢等高温材料,运用了溅射镀膜、激......
介绍了红外杜瓦组件的总体封装形式并回顾了国内外的发展情况,对7通道长波光导线列器件在杜瓦瓶中的基板封装形式进行了研究,提出......
红外探测器由单色、单通道向多色、多通道发展,由单元向线列、面阵等多元器件发展,特别是焦平面阵列红外器件的问世,使得红外技术......
本文综述了近年来用于固体氧化物燃料电池(Solid oxide fuel cells,SOFCs)的面心立方萤石型、立方钙钛矿型和磷灰石型结构电解质材......
介绍了电子束蒸发镀膜速率控制的基本原理和方法,选取实际生产中大量使用且蒸发特性较难控制的SiO2和HfO2,对两者的电子束蒸发速率......
在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800～1000 nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂......
直淀式Ge—Au薄膜应变计全部采用平面工艺,应变电阻和内引线全部薄膜化。通过对Ge、Au双源淀积应变电阻工艺的研究,使得灵敏系数K......
在固态毫米波系统中,毫米波收发前端对系统性能起着关键性作用。随着现代通信系统和雷达的快速发展,毫米波收发前端正向着小型化,......
Lange耦合器在雷达设备中应用广泛,雷达技术的飞速发展对Lange耦合器的体积质量提出了非常苛刻的要求。通过Ansoft Designer仿真发......
薄膜工艺制备的传感器具有体积小、性能可靠、成本低等优点,在电化学传感器的微型化、集成化方面应用广泛.在薄膜工艺制备的微电极......
根据近年来实际应用中对减反膜的新的需求和指标要求,利用光学薄膜设计软件进行模拟和理论分析,采用常规的薄膜工艺和设备进行大量......
