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本论文研究了脉冲栅控行波管中,C、Hf薄膜对抑制栅极电子发射所起的作用,讨论了两种薄膜的工作机理。实验中,分别利用双离子束溅射和......
本论文研究了脉冲栅控行波管中,Hf薄膜对抑制栅极电子发射所起的作用,讨论了Hf薄膜的工作机理。实验中,利用射频磁控溅射技术在Mo基底......
利用双离子束溅射和射频磁控溅射技术在Mo基底上分别制备了C膜和Hf膜,并利用化学方法制备了BaO涂层以模拟行波管栅极结构,随后在N......
利用离子束辅助沉积技术在 Mo栅极上镀上并注入一层 Hf膜,对镀后的样品进行了形貌、结构、成份、膜厚及 Mo、Hf界面分析。将样品进......