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为满足对振动环境下10 Hz以下低频小量程加速度信号的高精度测量需求,提出了一种基于石英微工艺的新型窄带宽MEMS加速度计,其敏感......
介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法，利用MEMS体硅加......
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文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺，利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿，梳齿数目达200对，提高了初......
