气浮工作台相关论文
为了进一步开展对气浮静压导轨支承与直线电机驱动相互匹配稳定性研究,设计并研制了一种基于方箱的二维气浮工作台。二维气浮工作......
应用于液晶平板显示屏自动光学检测仪器中的气浮工作台运载单元因为其具有几乎无磨损、精度高、无污染等优点,广泛应用于光学测量......
静压气浮导轨是精密气浮工作台的重要组成部件,其承载能力和刚度直接影响了工作台的平稳性以及所加工零件的精度。针对所设计的精......
铁氧体由于涡流损耗低、电阻率高、电容率高、磁导率高,广泛运用于电机、变压器、汽车、飞机、火箭、雷达等设备的制造,但是现有技......
直线驱动气浮工作台具备摩擦低、传动环节少的特点,其精度比传统的机械式工作台高两个数量级,因此成为精密运动平台的首选。气膜流......
超精密加工技术作为衡量一个国家制造技术水平的重要标志,受到了世界各国的高度重视。超精密零件尤其是超精密光学元件,在航天、国......
随着科学技术的发展,采用直线电机直接驱动工作台的方式越来越多。直线电机直接驱动与精密滚珠丝杠副传动进给方式相比,具有进给速......
在精密气浮工作台中,经常采用单边驱动方式,它避免了复杂的同步运动控制,但由于质心偏置也容易引起振动和不稳定性.为了消除单边驱......
气浮轴承存在明显的非线性的特性，而精密工作台又要求较高的精度，传统的PID控制方法较难满足系统定位精度的要求。在分析精密气浮平......
为获得超精密工作台系统特性,针对双闭式气体静压导轨超精密工作台的振动特性展开研究.建立了工作台系统的动力学模型,推导了系统......
针对2×2对称毛细管节流气浮工作台模型，运用Fluent数值仿真软件分析得到气膜区压力及速度分布、质量流量和承载力等特性，分析毛......
针对超精密气浮工作台内部微小间隙气体的性能展开研究,实现了微尺度下气体滑移及黏度对气浮工作台性能影响的分析。基于气体润滑......
测量平台运动精度是三维表面粗糙度测量仪中的关键技术。该文讨论了气浮工作台的设计方法，分析了承载能力和气膜刚度，推算出相应的计......
旋转超声波加工是一种精密、有效的硬脆材料加工方法，为了获得最佳加工质量，旋转超声波钻削加工中，恒定、灵敏地控制工件与工具之间的......
针对已开发的精密直线气浮工作台，设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小，抗干扰能力差等问题。设计的阻尼器由......
运用计算流体力学FLUENT软件数值模拟，分析研究影响气浮工作台静态性能有关因素，并得到相应的变化曲线。进行气体静压实验，从实验结果......
