气浮导轨相关论文
静压气浮导轨采用气体润滑,具有无摩擦、热变形小、寿命长等优点,且气膜的误差均化作用显著提高了其运动精度,满足三坐标测量机高......
近年来,光学自由曲面在很多领域得到广泛的应用,但由于其拥有着复杂的非回转对称结构,加工难度大。随着超精密加工技术的发展,基于......
三坐标测量机作为一种大型精密测量仪器,已广泛应用于现代制造业。随着生产的发展,对三坐标测量机的测量效率及精度要求更高,而随......
尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体......
现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的测量速度和精度要求。测量机测量速度的提高引起测量加速度与结构惯性力增大,振动加......
由于气浮导轨具有高精度、低阻尼、低摩擦、无污染等优点；同时，直线电机具有无接触、速度快、精度高、噪声低等特点，在运动系统中能够......
随着科学技术的迅猛发展,具有复杂微结构的光学表面越来越广泛地被应用到航天、通讯、医学和军事等一系列科学领域中。这类光学表......
光刻机是集成电路产业的基础设备,光刻机的线宽决定着集成电路的特征尺寸。光刻机研制水平的提高能够带动整个集成电路产业界的技......
静压气浮导轨具有摩擦小、发热量小、寿命长、精密度高、无污染、无辐射等优点,直线电机驱动具有无接触、速度快、精度高、噪声低......
坐标测量机是现代工业检测、质量控制和制造技术中不可缺少的重要测量设备，其设计与制造一直以高效率高精度为发展方向，其设计技术往......
通过步进电机驱动、同步齿形带的传递,气浮导轨的设计、主轴夹紧机构的改造,提高了仪表车床的刚性,保证了产品的加工精度.通过PLC......
提出了一种超声波微驱动摩擦改性的思想。通过激励超声波马达振子的两个对称的夹心式换能器前端头作旋转方向相反的椭网运动，使摩擦......
提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光......
利用双频激光测长原理,在建立50 m超长气浮导轨的基础上,提出了由地基、导轨、测距主标准器及工装配套等模块组成的一维大尺寸精密......
为研究空间对接机构在对接过程中的碰撞现象,研制了碰撞试验系统.探讨了试验系统方案;依据Hertz弹性接触理论,仿真计算了加速度频......
对长线阵CCD拼接仪的整体设计作了分析,采用精密滚珠丝杠驱动工作台,花岗岩作基座,大理石作台面和气浮导轨承载,保证运动精度和延......
本文概述了坐标测量机中的空气静压轴承球头支承是影响空气静压轴承与气浮导轨具有恒定气浮间隙的重要因素,同时对于保证测量机动......
就压缩空气对气浮式坐标测量机的影响进行了总结分析，并提出相应的解决方案，对提高坐标测量机的可靠性，降低故障率，延长使用寿命具有积......
在科技高速发展的今天，高速高精密技术已成为装备制造业的一个发展方向，静压气浮导轨以高精度、无摩擦、温升小、寿命长等优点满足高......
提出了用于坐标测量机（CMM）加速度误差补偿的气浮导轨的刚度和阻尼的估计方法。利用CMM框架模型建立振动方程，并转化为包含刚度和阻尼......
针对立柱导轨的结构形式，分析了气体阻塞条件，给出了气体压力分布示意图，根据导轨尺寸计算出了其承载力和刚度，经实践证明满足了仪器的......
设计了一种可拆卸式整体气浮导轨组件结构,该气浮导轨滑架采用框架组合结构,可更换多种型号及不同数量的气浮轴承,实现对称和非对......
为了优化局部多孔质气浮导轨的设计参数，建立了包含多孔质流量特性的气浮导轨气膜压力特性数学模型，提出了一种基于非支配排序遗传算......
在用超精密机床加工V沟槽等微结构时，气浮导轨是保证超精密加工精度和表面光洁度的关键部件之一。介绍气浮导轨结构及润滑方式的选......
针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题,采用比对测量原理,以激光干涉仪为基准,提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试......
为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度，提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台．该平台采用了新型的气浮解......
针对测量机的气浮导轨结构、结构材料性能及标尺系统特性,阐述所用压缩空气品质对测量机机体的影响.提出如何提供合格的压缩空气的......
CNC6810B三坐标测量机，测量范围为（X／Y／Z轴）450／650／400mm，分辨率为0．5μm，重复精度为1．25μm。测量机单轴综合位置误差为（2．5＋L／250）μm，空间综合位......
为了高精度高效率地测量数学模型未知的复杂几何形状，介绍了“免形状测量模式”，分析了该测量模式对仪器的基本要求，基于该模式设计了......
针对在太阳翼展开过程中,气浮吊挂滑车偏向横导轨单边导致气浮垫脱落甚至横导轨卡死等问题,对气浮导轨的防脱气浮塔应力和变形进行......
在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台。......
在超精密光学工程等领域,为了满足大质量部件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷的纳米定位平台。该纳米微动承载台......
在超精密气浮定位平台研究工作中,气浮轴承是基本单元,导轨滑架与气浮轴承的连接采用自准式定位结构,并且闭式导轨中辅助支撑一侧......
在超精密气浮定位平台研究工作中,对静压空气轴承的安装位置对系统影响的研究相对较少,文中介绍了一种新型机械结构的气浮导轨性能......
为提高大量线纹类量具和位移传感器的检定/校准效率和精度,设计可自动控制的专用多功能单维测量机。该机采用精密气浮导轨进行导向......
根据空气静压导轨静态性能测试要求，提出了一种连续加载的气浮导轨静刚度在位测量方法。采用两台电感测微仪测量导轨滑台的位移量、......
对不同供气压力与不同偏心率情况下的闭式C型气浮导轨进行CFD(计算流体力学)分析,得到其压力、速度的分布图,以及偏心率和供气压力......
研制了用于加工非回转对称光学元件的快轴伺服系统（FAS）的整体结构及其控制系统，系统具备较大行程和高工作频率，最大的行程可达到30mm......
气足是气体静压止推轴承的一种，是气浮导轨中最常见的部件。气足根据其形状分为矩形气足与圆盘气足。圆盘气足广泛应用于三坐标测量......
针对已开发的精密直线气浮工作台，设计了腹底式被动结构的阻尼器以解决静压气浮导轨传动阻尼小，抗干扰能力差等问题。设计的阻尼器由......
条码水准标尺是数字水准仪测量系统示值的载体,其条码线刻划精度的好坏直接影响水准测量的质量。本文通过对条码水准标尺结构的分......
三轴振动激励器各轴分别设置的气浮导轨解耦结构不仅要对非轴向运动实现润滑导向,还需将自身轴的运动传递到三轴运动平台(输出振动......
以前期研究工作为基础，分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生，而引起其定位精度劣化的内在原因。提出了通过减小节流孔孔径，改变......
运动工作台作为数控设备的核心组件,得到了业内的广泛关注。本文设计了一款两轴精密运动工作台,用于轻载的中、小型数控设备中,并......
近年来,气浮导轨由于气膜误差均化作用已被应用于形状误差的检测工作中。以气浮导轨作为误差测量基准,可以提高检测精度。本文为了......
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有阻尼、抗扰性能差的特点,为了抑制各种线缆扰动和直线电机推力波动的影响,提高工......
