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作为典型的硬质薄膜材料，金属氮化物陶瓷薄膜因具有高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性以及绚丽的色彩而广泛应用于切削和成型工具......
采用中频孪生靶反应磁控溅射在金属镍基底上制备氮化铬薄膜。利用X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、磨擦......
利用射频磁控溅射方法,使用Mg0.04Zn0.96O陶瓷靶材,选用不同流量比的氮气和氩气混和气体作为溅射气体,在石英基片上生长N掺杂MgxZn......
采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层，研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响。结果表明：当氮流量比在30％～100％......
