氮化铬薄膜相关论文
氮化铬(CrN_x)薄膜和非晶态氮化碳(a-CN_x)薄膜具有良好的机械性能,被广泛应用作切削刀具、生物医学工程以及微机电系统(MEMS)等领......
本论文系统研究了中频磁控溅射方法制备氮化铬硬质薄膜的技术、工艺及其摩擦学性能。采用北京实力源股份有限公司的 SP0806AS 型中......
本文在金属基体上利用直流磁控反应溅射技术制备了CrN薄膜，利用双靶直流磁控反应溅射技术制备了CrN/NbN纳米多层膜。利用XRD、SEM、......
学位
表面工程作为一门新兴的综合性学科，近年来，在国内外得到了迅速的发展。实践证明，表面工程的运用能有效改善材料的表面性能，提高生产力......
高功率磁控溅射技术具有膜层致密、膜基结合力好以及薄膜均匀等优点,但是其较低的沉积速率成为制约其发展的重要因素。针对高功率......
CrN薄膜由于具有优良的耐磨性能、热稳定性能和抗氧化性能，被广泛应用于刀具和模具的表面涂层，以提高机械部件的使用寿命。为进一步......
氮化铬薄膜硬度很高,并具有优良的结合性、化学稳定性和耐腐蚀性,是颇具潜力的表面保护材料。目前工业上应用广泛的TiN薄膜的抗氧......
采用纳米压痕仪和曲率半径为20μm的金刚石球形压头研究了40Cr基体和CrNx薄膜的径向纳动行为,并探讨其损伤机制.结果表明：CrNx薄膜......
采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢以及单晶硅基体上制备了CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电镜（FESEM）、能量色散X射线能......
基于闭合场非平衡磁控溅射及等离子体发射光谱监控技术(Plasma Emission Monitoring, PEM),通过监测靶面等离子体中Ti、Cr组元的特......
