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金刚石多晶薄膜的合成与研究
本文采用热解化学气相沉积方法,以甲烷和氢的混合气体为原料,在单晶硅和锗、 铜、钼、石英玻璃、碳化钨和石墨基板上合成金刚石薄膜,......
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用化学汽相沉积法在刀具材料表面形成金刚石薄膜
本文采用热解化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为原料气体,在刀具材料──硬质 合金、金刚石烧结体和立方氮化硼烧结体表面形成了金刚......
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