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源极漏极电阻相关论文
40nm狗骨结构对n-MOSFET的性能影响
设计了一组测试结构用来探讨狗骨(dogbone)结构有源区对n-MOSFET性能的影响因素。测试结构和测量数据基于40 nm工艺技术,通过改变......
期刊
狗骨
nm
n-MOSFET
器件性能
沟道长度
阈值电压
浅沟槽隔离
源极/漏极电阻
有源区
漏极
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