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对MEMS用具有绝热性能的多孔硅基底上沉积的热敏感薄膜进行了研究.首先用电化学方法制备多孔硅,分别在多孔硅基底和硅基底上通过溅......
用离子束增强沉积法从五氧化钒直接制备二氧化钒薄膜.750℃氮气退火后,薄膜的热电阻温度系数高达4.07%.高剂量的氢、氩混合束的注......
21世纪以来,随着微型半导体加工、印刷电子以及微电子器件制备等微加工技术的发展,人们对温度传感器的智能化、微型化以及精准化的......
本文以高纯金属钒作为靶材，采用磁控溅射工艺制备氧化钒薄膜。并分析了溅射功率，基片温度和溅射气氛等对薄膜方阻值的影响。分析表明......
