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模拟电路对于工艺偏移的敏感性以及设计良率是模拟电路设计师关心的重要问题。由于数值仿真工具的局限性,至今设计界仍缺乏能有效......
集成电路按摩尔定律快速发展,目前大规模的生产工艺已经进入65nm节点。随着特征尺寸的不断减小,其尺寸的大小已趋近于当前曝光系统......
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